「まてりあ」にサーモリフレクタンス法の記事が掲載されました

日本金属学会誌「まてりあ」Vol.57, No.12の特集「顕微鏡法による材料開発のための微細構造研究最前線(11)」に「シリコン表面の局所的な応力場におけるサーモリフレクタンス信号の位相分布」が掲載されました．レーザー周期加熱サーモリフレクタンス法はマイクロスケールの空間分解能を持つ熱物性評価技術として様々な分野で利用されていますが，応力・ひずみと熱伝播性を紐付けるチャレンジとして，単結晶シリコンに付与した圧痕周辺に，ラマン分光で得られるような位相分布を観測することができました．周期加熱法では加熱周波数を変えることで評価領域をある程度制御できることから，三次元的な応力・ひずみ分布への展開も期待されています．